MEMS加速度振動(dòng)傳感器原理

MEMS加速度振動(dòng)傳感器原理MEMS是micro electro mechanical system微電子機械系統的縮寫(xiě)，這種微電子制造技術(shù)適用于任何傳感器的制造。這些技術(shù)，通常在硅晶體上蝕刻，創(chuàng )造微觀(guān)尺寸的機械傳感結構。當與微電路耦合時(shí)，MEMS傳感器可以用于測量例如加速度之類(lèi)的物理參數。不同于ICP®傳感器，MEMS傳感器測量頻率低至0Hz(靜態(tài)或者DC加速度)。PCB®制造兩種類(lèi)型的MEMS加速度計，可變電容式和壓阻式?？勺冸娙?VC)MEMS加速度計主要是低幅值，高靈敏度設備，用于結構監測和恒定加速度的測量。壓阻(PR)MEMS加速度計主要是高量程，低靈敏度設備，用于沖擊和爆炸應用。 工業(yè)加速度傳感器可以使用耐腐蝕和耐化學(xué)腐蝕的不銹鋼進(jìn)行構造。在有害化學(xué)物質(zhì)的環(huán)境中，傳感器考慮使用聚四氟乙烯耐腐蝕的連接電纜。強烈建議檢查任何可疑化學(xué)物質(zhì)的化學(xué)兼容性圖表。對于能接觸到切屑的環(huán)境，一體鎧裝電纜能提供良好的保護。